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半导体行业无人工厂环境实施要点
 

半导体行业的产品工艺流程主要分为前道和后道,前道称之为封装车间,后道称之为测试车间。产品的生产从圆片的加工开始。封装前道主要完成刻蚀、划片、装片、键合、密封等工序。对于一般的半导体车间来说,测试后道主要完成产品的测试、打标、包装。在以上的工序中,有不少工序需要恒温恒湿的环境要求,有的工序设备需要各种气体以及真空、压缩空气、纯净水等等。因此为了满足以上要求,工厂内的部分区域需要各种管道系统,他们是:
 ■ 大型的空调系统; ■ 复杂的管路系统,包括纯水、真空、压缩空气、各种气体、排风管道;
 ■ 电力系统:电箱、电柜、汇流排等等; ■ ESD回路; ■ 照明及消防实施;

除了以上与设备有关的实施外,为了生产组织的需要,还需要考虑以下内容:
 ■ 物料搬运系统; ■ 生产看板;各种类型的看板;
 ■ ERP网络系统; ■ 考勤与门禁系统;
 ■ 管理人员、维修人员工作区域设施;
 ■ 现场5S设施等等。

 

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