1.硅集成电路芯片工厂内应设通信设施，并应符合下列要求:
1) 厂房内电话/数据布线应采用综合布线系统，综合布线系统的配线间或配线柜不应设置在布置工艺设备的洁净区内；
2) 应设置生产.办公及动力区之间联系的语音通信系统；
3) 应根据管理及工艺的需要设置数据通信局域网及与因特网连接的接人网；
4) 宜设置集中式数据中心。
2.生产厂房应设置火灾自动报警系统，其防护对象的等级不应低于一级，火灾自动报警系统形式应采用控制中心报警系统，并应符合下列要求:
1) 应设有消防控制中心，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定；
2) 生产厂房内火灾探测应采用智能型探测器。在封闭房间内使用或存储易燃﹑易爆气体及有机溶剂时，房间内应设置火焰深测器；
3) 生产厂房洁净区内净化空调系统混入新风前的回风气流中，宜设置高灵敏度早期报警火灾探测器；
4) 在洁净区空气处理设备的新风或循环风的回风口处，宜没风管型火灾探测器。
3.生产厂房应设置火灾自动报警及消防联动控制。控制设备的控制及显示功能应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016及《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的规定。
4.生产厂房应设置气体泄漏报警装置，并应符合现行国家际准《建筑设计防火规范》GB 50016及《特种气体系统工程技术规范》GB 50646的规定。
5.生产厂房应设化学品液体泄漏报警装置，并应符合现行国家标准的规定。
6.生产厂房应设置广播系统，洁净区内应采用洁净室型扬声器。当广播系统兼事故应急广播系统时，应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116的有关规定。
7.芯片工厂内应设置闭路电视监控系统，监控摄像机宜采用彩色摄像机，闭路电视监控系统监控图像存储时间不应少于15d。
8.芯片工厂内宜设置门禁系统，所有进入洁净区的通道均应设置通道控制，洁净区内门禁读卡器宜采用非接触型。 |
