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如何实现精密光学平台的隔振?

精密光学平台广泛研究应用于光学、电子、精密工程机械设计制造、冶金、航空航天、航空、导航、精细化工、无损检测、机械等行业的精密测试主要仪器技术设备的隔振。其动态力学性能直接影响试验结果的准确性和可靠性。其微振动特性可以直接通过影响进行精密仪器的测量精度。由于对精密隔振的要求,精密光学平台的隔振技术需要进一步改进。
  在避震系统的设计中,需要进行考虑的干扰影响因素研究较为丰富复杂,包括:大型企业建筑物本身的摇晃、地面或地面的振动、电气工程设备的振动、各种不同机械振动、声致振动、外部发展道路建设交通的振动,甚至是人类社会行走引起的振动。
  光学平台的选择对提高实验精度至关重要。光学平台的避震可以通过以下三种方式实现:
  隔振器:一般气浮式隔振支架的性能研究一般情况好于阻尼隔振支架,有些工作性能具有优良的隔振支架可达到学生一到实现两个不同数量级(一般在10~200赫兹)。
  桌面质量:要求桌面具有一定的刚度,且重量轻(硬重比),使桌面能有效降低共振幅度,本文将在后面介绍。
  台面内部结构:台面内部结构不仅可以减少支架,还可以减少或消除台面的冲击和相对运动引起的振动。
  高质量的光学平台不仅需要高精度的加工,而且拥有高科技的精密检测手段和仪器,高质量的光学平台可以保证高精度的光学实验和正常的科学研究。
  STACISIII为柔性主动隔振系统。采用中国先进的惯性振动传感器、控制网络算法和压电驱动器,通过一个连续测量地面运动,再滤缩地面运动,实现信息实时消振。本系统主要包括改进版的DC-2020数字控制器。新一代双核处理器、以太网和USB串行接口,为用户可以提供发展现代、易用的图形处理用户操作界面(GUI),是一种具有全新的控制环境系统。精微光刻、测量和检测方法设备,是工业企业标准问题解决这个方案,隔离先进国家半导体工厂(包括但不限于:半导体工厂、故障原因分析我们实验室、纳米科学技术应用研究、纳米制造基础设施和材料作为研究活动中心)。

精密光学平台

 

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