压电纳米台能够应用的领域和特色 |
| 压电纳米台具有运动外表，通过一个带有柔性铰链的机械结构输出压电陶瓷的位移和输出，分为直接驱动和放大两种结构。以压电陶瓷为驱动源，结合柔性铰链组织实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、压电平台以XYZ轴精细运动，驱动形式包含压电陶瓷直接驱动组织、放大组织式。运动范围可达500μm，体积小、无冲突、响应速度快等，配合高精度传感器，能够到达纳米级的分辨率和高可靠性的定位精度，在精细定位范畴发挥重大效果。
近年来，因为光通信技能的飞速发展，光纤衔接器作为光通信中最基本的光源器材，对其质量和可靠性提出了更严厉的要求。为了进步光纤衔接和光信号传输的效率，对光纤端面进行检测是非常重要的。
为了取得光纤端面的三维参数，一般依据光学干与进行测量。其中，由压电陶瓷操控器操控的压电纳米台用于移动三维干与仪体系中Miro的干与物镜或光纤衔接器产生相位移动，共分五步，每一步后由CCD相机读取干与条纹。
压电纳米台内置无冲突柔性铰链导向组织和一体化结构设计。组织放大驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版的定位精度能够到达纳米级。通过有限元仿真剖析，对柔性铰链结构进行了优化该柔性导向体系具有超高的导向精度和高刚性、高负载、无冲突等特色。
此外，压电纳米台还能够用于：
光路调整；
纳米操控技能；
纳米平版印刷术，生物技能；
激光干与；
CCD图像处理；
纳米测量、显微操作；
纳米压印、纳米定位；
共聚焦显微镜。 |
|
