产品概述 WNP681S / WNP683S / WNP685S是采用压电陶瓷驱动的六维并联纳米级精密定位扫描平台,平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,确保了平台极佳的运动精度。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。
产品特点 行程:XYZ150μm x θXθYθZ1mrad / XYZ300μm x θXθYθZ2mrad / XYZ500μm x θXθYθZ3.5mrad;优异的导向精度 ;外形尺寸为175 x 175 x 38mm ;分辨率为3.5μm / 7.5μm / 12μm ;中空尺寸为75 x 75mm ;内置高性能的压电陶瓷 ;高稳定性 ;开/闭环可供选择
产品应用 扫描显微镜(SPM)•干涉•计量•掩模/晶圆定位•度量衡学•生物技术•显微光学•激光技术•微操作 |