三轴一体滑台:WNXYR(60/80/120)-H-北京微纳光科自动化设备有限公司

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三轴一体滑台:WNXYR(60/80/120)-H

	型号	WNXYR60-H	WNXYR80-H	WNXYR120-H
机械规格	台面尺寸	Ø60mm	Ø80mm	Ø120mm
	移动行程X轴	±7.5mm	±12mm	±15mm
	移动行程Y轴	±7.5mm	±12mm	±15mm
	移动形成	±8.5°	±10°
	传动方式	螺杆传动
	轨道XY轴	交叉滚柱式
	轨道θ轴	交叉滚柱轴承
	材质/表面处理	铝合金/黑色阳极处理
	精度等级	精密性
	马达方向	R:右侧安装 L:左侧安装
精度规格	XY轴解析度	5μm/2.5μm
	θ轴解析度	0.0056°/0.0028°	0.0047°/0.0023°	0.0034°/0.0017°
	XY轴单向定位精度	10μm
	XY轴反复定位精度	±1μm
	θ轴单向定位精度	0.05°
	θ轴反复定位精度	±0.01°
	荷重（KG）	6	10	25
	XY轴空转	2μm
	θ轴空转	0.01°
	平行度	20μm	30μm
	运动同心度	20μm
	运动平行度	10μm	15μm
电器规格	马达类型	28步进电机	28步进电机	28步进电机
	马达品牌	MOONS'(鸣志)
	滑台侧接头	15pin公端连接器D-SUB
	控制器侧接头	15pin母端连接器D-SUB
	电源电路	24V±10%
	控制输出	NPN开放式集电极输出24V 8mA以下
	输出控制	检测（感应时）：输出电晶体OFF

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