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压电并联六轴台：WNMPT-XY50Z30T0.6R1
 

型号 WNMPT-XY50Z30T0.6R1
运动自由度 X,Y,Z ;θx,θy,θz
行程范围(μm±20%) 50，50，30
转角范围 (mrad±20%) 0.6，0.6，1
位移分辨率 (nm) 0.6，0.6，1
重复定位精度 (nm) -/50，-/50，-/30
运动方向上刚度(N/μm±20%) 50
最大负载 (Kg) 5
固有频率 (Hz±20%) 1500
工作温度范围 (℃) -20 ～ 80
 

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