此产品通过X、Y、Z三轴移动来调整刮刀位置，由力传感器来感应刀片下降过程所受到的力大小，从而完成刮涂硅片的工作。
描述
规格
X轴
Y轴
z轴
结构描述
行程
200mm
100mm
台面尺寸
115x115mm
主体材料
铝合金
表面处理
阳极氧化发黑
台面承载
7kg
15kg
精度描述
最大速度
25mm/sec
重复定位精度
1μm
绝对定位精度
3μm
回程间隙
2μm
