1.特种气体宜采用外购钢瓶气体供应，在厂区内应设置诸存﹑分配系统。
 2.特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。
 3.洁净区内自燃﹑易燃﹑腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定:
 1) 危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中﹔
 2) 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源﹔
 3) 一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱。
 4.特种气体分配系统应符合下列规定；
 1) 应设置吹扫盘；
 2) 应设置应急切断装置；
 3) 应设置过流量控制装置；
 4) 应设置手动隔离阀；
 5) 运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统；
 6)不相容特种气体不得共用同一吹扫盘。