行程
20mm
设计分辨率
0.125μm
重复定位精度
<1μm
运动直线度
<2μm
运动平行度
<5μm
俯仰(θy)
10″(50μrad)
偏摆(θz)
最高速度
5mm/sec
负载
1kg
自重
0.8kg
产品特性:超精密型电控平移台采用高细分步进电机驱动,分辨率极高进口高精密超薄线性滑轨保证运动精度高、外形小巧,是精细调整的首选