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六维并联式工作台:WNMPT-6P系列
 

型号 WNMPT-6JN/RL050
运动自由度 X,Y,Z ;θx,θy,θz
行程范围(μm±20%) 505030
转角范围 (mrad±20%) 0.60.61
位移分辨率 (nm) 0.60.61
重复定位精度 (nm) -/50-/50-/30
运动方向上刚度(N/μm±20%) 50
最大负载 (Kg) 5
固有频率 (Hz±20%) 1500
工作温度范围 (℃) -20 ~ 80

 

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