采用了划时代性模组结构的超薄型平台

在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承，实现了超薄型结构。

高刚性、高精度、高品质精磨级滚珠丝杠驱动，小导程，相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。

超薄型、轻量化、中空结构设计, 可作为光学式检查装置或导通测试器使用润滑系统。

在各种运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度。

产品整体机构薄且轻，内部结构紧凑，可实现同时进行X 轴的平移、Y 轴的平移、Z 轴的旋转。可实现任意位置再运动。

材料皆经超深冷处理, 有效预防变型, 大幅提升使用寿命

微米-相位台及龙门对位系统.pdf