平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，柔性铰链具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，确保了平台极佳的运动精度。平台为无磁材质。

高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动，内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，才用有限方针分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度。

纳米-压电移动台偏摆镜.pdf