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直驱滑台系列 |
| 采用高性能直线电机驱动，重复定位精度和绝对定位精度好：直线电机驱动取消了由于丝杆等机械结构引起的传动误差，减少了插补时因传动系统滞后带来的误差，通过…… |
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直驱旋转台系列 |
| 1.采用高性能直驱电机，高速静音交叉滚珠导轨圆弧，承载高，刚性好，速度和加速度大，适合工业用户（半导体），实验室等需要高负荷高速度，长期连续运行的场所…… |
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直驱升降台系列 |
| 直驱升降台，采用方形，环形对称直驱电机结构，高性能直线电机驱动，闭环控制，采用拉簧机构实现断电防撞，复定位精度和绝对定位精度好：直线电机驱动取消了由…… |
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气浮滑台系列 |
| XY气浮轴承平台,直线电机直接驱动,超高的平面度和直线度,理想化的高精度和平滑运动 |
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气浮转台系列 |
| 气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/…… |
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气浮和磁浮升降台系列 |
| 气浮运动台用济南青大理石作为基座，济南青大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模…… |
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直驱气浮磁浮组合台系列 |
| 随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，推出了一系列超气浮运动台。广泛应用于半导体加工、检测，微…… |
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直驱气浮磁浮龙门系统 |
| 龙门T型直线电机高精度平台,无嵌齿效应AUM直线电机驱动,卓越的直线度, 平面度和准确精度,高精度博世力士乐直线导轨和低噪音滚珠滑块,集成直线编码器，限位传感…… |
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