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大型
测距传感器将距离信息实时传输给电脑,PC端实时监测位置信息。并且电脑软件显示相位台以及三轴运动系统的当前位置信息。
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小型
主要由三个电动平移台、一个辅助支撑、一台相位台系统,一个测距传感器以及结构件和工作台面组成。 其主要功能是通过运动控制改平移台的位置和相位台的位移量……
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中型
扫描台系统(下文简称“系统”)是将样品安装加持在相位台台面上,固定安装好后,电动三轴系统经X、Y、Z三轴平移运动将相机、测试样品以及测距传感器位移至指……
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